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產品

Mark 7 &8 Main Arm Z-軸馬達預警系統

電洽

動機說明:
在半導體黃光設備 TEL- Main Arm 常因 Z-axis 的組件
( Servo motor, Ball screw ,linear guide , bearings )
老化或損耗,造成 Robot 長時間的當機,故提出對 Z-axis 異常預警系統一案



改善方法
:
分別採無負載,有負載及運轉情況下改變負載,進行Z-axis 馬達扭力輸出的監控

測試結果:
很明顯在這三種條件下,馬達的"負載扭矩";"加減速扭矩";"瞬間最大扭矩"
有明顯差異; Driver 中讀取"扭矩"訊號,進行轉換可輸出的訊號,即可
作為數值的監控了