和億應用股份有限公司
產品
AMAT Throttle valve 改裝
電洽
適用機台:
AMAT eMAX 300mm Throttle Valve
P5000 Etcher Butterfly Valve 0010-09119
AMAT WxZ 0010-09035 / 0040-09032
AMAT DxZ Throttle Valve
P5000/5200 SACVD Sigma 0010-02142
AMAT HDP 200mm Throttle valve
AMAT HDP 300mm Throttle valve
直驅式機構優點:
直驅式機構優點:
1.直接式傳動,無間隙無遲滯問題,控壓更精準
2.採內部機構潤滑,無生油氣及污垢產生.
3.機構零件單一化.整體強度高
4.採軸連結器傳動,可抗拒不預期之外力拉扯.
5.採無軸承式設計, 無任何耗材需更換.