產品介紹

LCD Giant Robot current monitor sys

優點:
1.Early alarm 機制, 提早偵測 ROBOT 各軸之異常
2.可依各軸實際運行參數,以trend chart 圖表顯示
   易於人員進行判斷保養週期
3.可透過內部網路, 與廠內CMS 多台通訊
4.安裝簡單, 無需長時間停機
 

Mark 7 &8 Main Arm Z-軸馬達預警系統

動機說明:
在半導體黃光設備 TEL- Main Arm 常因 Z-axis 的組件
( Servo motor, Ball screw ,linear guide , bearings )
老化或損耗,造成 Robot 長時間的當機,故提出對 Z-axis 異常預警系統一案



改善方法
:
分別採無負載,有負載及運轉情況下改變負載,進行Z-axis 馬達扭力輸出的監控

測試結果:
很明顯在這三種條件下,馬達的"負載扭矩";"加減速扭矩";"瞬間最大扭矩"
有明顯差異; Driver 中讀取"扭矩"訊號,進行轉換可輸出的訊號,即可
作為數值的監控了
 
 

實物即時監測

AMAT Tool  Wafer Slider Detector

多功能電壓電流監控系統

Multi-Electricity Detector 
特點 :
1.適用三相三線或四線式設備,即時電壓,電流,以功率監控.
2.可動態偵測每一相的電力數值,並可自行設定上下極限值.
3.具備繼電器輸出,可與主機台之interlock 串聯,即時發報.
4.具備 RS-485 MODBUS-RTU 協定網路輸出(SPC)
5.大面積LCD 液晶顯示
 

IR-TEMP Real Time Monitor System

1.全Channel數(3點)取樣、記錄速度達 200ms /
2.可設定記錄時間與取值方式
3.可選擇記錄瞬間值或平均/最大/最小..等統計數值
4.可程式警報與訊息功能
5.水平、垂直曲線圖、柱狀圖、數值、混合顯示等
6.介面中英文語言
 

Heating Jacket CMS

Heating jack CMS (人機運用)
1.可串連整合100~300 溫度控制器
2.即時監控及設定各溫度控溫參數值(SV,PID,Alarm...etc)
3.歷史資料查詢及輸出
4.可上傳至客戶端CMS 系統
5.可整合多組heating jacket 模組

Wireless G Sensor Detector

Wireless G Sensor Detector
Feature :
1.高效能的無線傳輸(2.4GHz , max 200M).
2.高感度之三軸位移加速度 G sensor 感測器.
3.250mA 的鋰電池供電,並可反覆充電.
4.各軸向的震動值可立即顯示於平板上,並以Real time chart 方式呈現.
5.可與主設備機台預警系統 (interlock)連接 .
6.可依使用者需求設計不同的功能介面
 

Simple Multi Sensor Interlock System

簡易式多模組預警系統

功能 : 
1.可用於氣體、流量、液面及其他各類型檢測(需搭配感測器)
2.內建Delay on 功能 , 適用於檢測初期狀態不穩定時可降低誤動作
3.可無限串接多組同時監測(DIN軌道安裝)
4.可依需求開發設計

MFC real time monitor

以毫秒速度傳輸, 可運用在critical Process 上
,藉此為設定recipe 依據,及了解 MFC 能力為何

Slurry 流量監控系統(Single Channel )

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燃燒式 GAS Scrubber 節能系統:

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