產品介紹

200 mm Wafer ID Reader

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真空逆止閥-BIV

Backstream Interlock Vavle for Harsh Process 

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真空止回閥-CIV

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桌上型晶圓挑片機 (Tabletop Wafer Sorter )


主要用途:
Split, merge, compression, randomization
應用範圍:
半導體晶片、砷化鎵晶片、紅藍寶石晶片
產品特色:
1.產品售價合理,維護成本低廉
   (全部零件為一般標準品)
2.鋁合金結構,堅固耐用不易變形,重量輕.
3.觸控式人機系統,並提供英中文介面切換功能.
4.直覺式操作,方便線上人員使用
5.智能結構設計,防止操作不當使用之風險
6.Auto Mapping ,可偵測斜片,疊片.
7.同步傳送狀態顯示.
8.機台設計精簡,體積小,不佔空間
   (L:710mm/W:660mm/H:620mm)
 
 

自動晶圓舉片機

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自動晶圓對平邊器



主要用途
:自動晶圓缺角對準
應用範圍:應用於半導體晶片、砷化鎵晶片、紅藍寶石晶片 
產品特色
:
1.電子式控制系統以增加平邊精確度
2.有六組固定角度可做依需求做選擇,且可自行設定任意一角度
3. LCD螢幕方便操作
4.全部中文介面及狀態燈號顯示,更方便使用
5.可依需求調整晶圓旋轉速度
6.適用於符合SEMI-Standard 
晶舟
 

AMAT Throttle valve 改裝




適用機台
:
AMAT eMAX 300mm Throttle Valve
P5000 Etcher Butterfly Valve 0010-09119
AMAT WxZ 0010-09035 / 0040-09032
AMAT DxZ Throttle Valve
P5000/5200 SACVD Sigma 0010-02142
AMAT HDP 200mm Throttle valve
AMAT HDP 300mm Throttle valve 


直驅式機構優點
:
1.直接式傳動,無間隙無遲滯問題,控壓更精準
2.採內部機構潤滑,無生油氣及污垢產生.
3.機構零件單一化.整體強度高
4.採軸連結器傳動,可抗拒不預期之外力拉扯.
5.採無軸承式設計, 無任何耗材需更換.

 

ASM E-10 CLAMP Retrofit




ASM E-10 Linear CLAMP Retrofit